2025-08-06

Wat is die werkende beginsel van 'n elektronstraal-litografie-masjien?

Elektronografie (EBL) is 'n mikro-nano-vervaardigingstoestel gebaseer op blootstelling van elektronstraal. Die kernbeginsel is om nano-skaalpatrone op 'n weerstand te teken (soos PMMA, HSQ) met behulp van 'n hoë-energie elektronstraal. Laastens word die patroon na die substraatmateriaal oorgedra deur prosesse soos ontwikkeling en regstelling.