2025-08-06

ما هو مبدأ عمل آلة الطباعة الحجرية لشعاع الإلكترون ؟

إن الطباعة الحجرية لشعاع الإلكترون (EBL) عبارة عن جهاز تصنيع نانو مصغر يعتمد على التعرض لشعاع الإلكترون. مبدأها الأساسي هو رسم أنماط مقياس النانو على المقاومة (مثل PMMA ، HSQ) باستخدام شعاع إلكترون عالي الطاقة. في النهاية ، يتم نقل النمط إلى مادة الركيزة من خلال عمليات مثل التطوير والتثبيت.