Электронная літографія (EbL) - гэта прылад мікро-нано выклікацыі, базональны на вылічэння абмену електроннага. Яе сустрэчны принцип: маляваць нані Выкарыстаць выялікае энергія. Назакінуць, шаблон перадаецца у субстратную матерію, у працэсах, такі як распрацоўкі і выправіць.