2025-08-07

Zeptools technology popular science-въведение в технологията за литография на електронните лъчи (ebl)

Литографията на електронните лъчи (ebl) е безмаска, литографска техника с директен запис, която работи чрез директно писане на наномащабни модели върху електроночувствителна повърхност на съпротивление, използвайки фокусиран електронен лъч.