Un perfilòmetre és un instrument de precisió usat per a mesura d' alta precisió del topografia microsòpic de les superficies materials (com l'alçada de pas) t, bruta, platsa, i lliure. S' utilitza ampletament en la producció semiconductor, recerca ciència de materials, MEMS i proves de components òptics. La seva funció principal és obtenir dades quantitatives sobre canvis d'alçada de la superfició a través del contacte minut entre la sonda i la superficie de mostra, proporcionant dades clau per a l'anàlisi de rendiment material i l'optimització del procés.
