2025-08-07

ZEPTOOLS Technology Popular Science - Uvođenje za Electron Beam Lithography (EBL)

Electron litografija zraka (EBL) je masklena, direktno pisanju litografičkog tehnika koja radi direktno pisanjem uskorog nanoskala na elektronnog osjetljivog otpori otporu površinu koristećim Fokusan elektrona zraka.