2025-08-06

Šo je radni princip litografičke mašine elektronske zraka?

Electron litografija zraka (EBL) je uređaj mikro-nano zasnovan na izložbe elektronske zraka. Njegov je osnovni princip je da nacrtaje nano-skala na otporu (kao što je PMMA, HSQ) koristeći visokog energije elektrona. Konačno, obrazac se prebačen na substrate materijal kroz procese kao što su razvoja i popravljanje.