2025-08-07

Zeptools technology popular science-introduction to electron beam lithography (ebl) technology

Litografie elektronových paprsků (ebl) je bezmaskovaná litografická technika s přímým zápisem, která funguje tím, že přímo zapisuje nanostupkové vzorce na povrch odolávající elektronům s použitím soustředěného elektronového paprsku.