Bezmasková litografie je pokročilé litografické zařízení, které nevyžaduje fyzickou masku. Používá digitální mikrozrcadlové zařízení (dmd) k dynamickému generování litografických vzorů, což umožňuje flexibilní a efektivní zpracování mikrostupnicové struktury. Jeho hlavní funkcí je využívat schopnost prostorového světla modulace dmd k přímému projevu počítačových vzorů na povrch substrátu. Tím se odstraní těžkopádné kroky výroby masek a zarovnání v tradiční litografii, což výrazně zkrátí cyklus výzkumu a vývoje a snižuje výrobní náklady.
