Zeptools-scanning electron microscope-nano displacement stage

Automatická stanice sondy na pokojové teplotě TZ-H-06

Sem nano-sonda

Piezo objective nf100la

Pjezo s dlouhým zdvihem nano posunovací stupeň ML-92A

Systém bezmaskované litografie dmd

Plazmatický systém vylepšený chemický výpadek pary (pecvd)