2025-08-06

Beth yw egwyddor gweithio peiriant lithograffeg trawst electron?

Mae lithograffeg trawst electron (EBL) yn ddyfais ffugio micro-nano sy'n seiliedig ar amlygiad trawst electronau. Ei egwyddor craidd yw tynnu patrymau ar raddfa nano ar wrthsefyll (fel PMMA, HSQ) gan ddefnyddio trawst electron ynni uchel. Yn olaf, trosglwyddir y patrwm i'r deunydd swbstrad trwy brosesau fel datblygu a thrwsio.