2025-08-07

ZEPTOOLS Teknologi Populær videnskab - Introduktion til elektronstråle Litografi (EBL) Teknologi

Elektronstrålelitografi (EBL) er en masklesløs, direkte-skrive litografisk teknik, der virker ved direkte at skrive nanoskala mønstre på en elektronfølsom resist overflade ved hjælp af en Fokuseret elektronstråle.