Et profilometer er et præcisionsinstrument, der anvendes til højpræcisionsmåling af den mikroskopiske topografi af materialeflader (f.eks. trinhøjde t hårdhed, flathed og warp. Det er udbredt i halvledere fremstilling, materialevidenskab forskning, MEMS (Microelectromechanical Systems) forarbejdning, og optisk komponentprøvning. Dens kernefunktion er at opnå kvantitative data om ændringer i overfladehøjde gennem minutkontakt mellem sonden og prøveoverfladen. tilvejebringelse af nøgledata til analyse af materialets ydeevne og procesoptimering.
