2025-08-07

ZEPTOOLS-Technologie Popular wissenschaft-Einführung in die Elektronen strahl lithographie (EBL)-Technologie

Die Elektronen strahl lithographie (EBL) ist eine masken lose Litho grafie technik mit direktem Schreiben, bei der nanos kalige Muster unter Verwendung eines fokussierten Elektronen strahls direkt auf eine elektronen empfindliche Resist oberfläche geschrieben werden.