Ein Profilo meter ist ein Präzisions instrument zur hochpräzisen Messung der mikroskop ischen Topographie von Material oberflächen (wie Stufen höhe, Rauheit, Ebenheit und Verwerf haltung). Es ist weit verbreitet in der Halbleiter herstellung, der material wissenschaft lichen Forschung, der MEMS-Verarbeitung (Micro electro mechanical Systems) und der Prüfung optischer Komponenten. Seine Kernfunktion besteht darin, quantitative Daten zu Änderungen der Oberflächen höhe durch winzigen Kontakt zwischen der Sonde und der Proben oberfläche zu erhalten und wichtige Daten für die Material leistungs analyze und Prozess optimierung bereit zustellen.
