2025-08-07

ZEPTOOLS Τεχνολογία Δημοφιλής Επιστήμης - Εισαγωγή στη Λιθογραφία ηλεκτρονικών δοκιμών (EBL)

Η λιθογραφία της ηλεκτρονικής δέσμης (EBL) είναι μασλές, άμεση γραφή λιθογραφική τεχνική που λειτουργεί με την άμεση γραφή σχεδίων νανοκλίμασης σε μια επιφάνεια ευαίσθητη σε ηλεκτρονικά αντίσταση με τη χρήση ενός Εστιασμένη ακτίνα ηλεκτρονίων.