2025-08-06

Ποια είναι η αρχή λειτουργίας μιας μηχανής λιθογραφίας ακτίνας ηλεκτρονίων;

Η λιθογραφία ηλεκτρονίων δέσμης (EBL) είναι μια συσκευή κατασκευής μικρο-νανού βασισμένη στην έκθεση της ακτίνας ηλεκτρονίων. Η βασική αρχή της είναι να σχεδιάζει νανο-κλίμακες μοτίβα σε ένα αντίσταση (όπως PMMA, HSQ) χρησιμοποιώντας ακτίνα ηλεκτρονίων υψηλής ενέργειας. Τέλος, το μοτίβο μεταφέρεται στο υλικό υπόστρωμα μέσω διεργασιών όπως ανάπτυξη και στερέωση.