Ένα προφίλμετρο είναι ένα όργανο ακριβείας που χρησιμοποιείται για τη μέτρηση υψηλής ακρίβειας της μικροσκοπικής τοπογραφίας των επιφανειών υλικού (όπως ύψος βαθμίδων) t, τραχύτητα, επίπεδο και δίνη. Χρησιμοποιείται ευρέως στην κατασκευή ημιαγωγών, την έρευνα επιστημονικών υλικών, την επεξεργασία MEMS (Microelectromecanical Systems), και δοκιμές οπτικών στοιχείων. Η βασική λειτουργία του είναι να λαμβάνει ποσοτικά δεδομένα σχετικά με τις μεταβολές του ύψους της επιφάνειας μέσω της ελάχιστης επαφής μεταξύ του καθετήρα και της επιφάνειας του δείγματος, παροχή βασικών δεδομένων για την ανάλυση απόδοσης υλικών και τη βελτιστοποίηση της διεργασίας.
