2025-08-06

Kio estas la funkcia principo de la litografia maŝino de elektrono?

Elektron-bibo litografio (EBL) estas mikro-nano-profekta aparato bazita sur espresado de elektrono. Ĝia ĉefa principo estas desegni nano-skala ŝablonojn sur rezisto (ekz. PMMA, HSQ) uzante alta-energi-elektronon. Fine, la ŝablono estas transdonita al la substrata materialo per procezoj kiel evoluo kaj riparado.