2025-08-07

Ciencia popular-Introducción a la tecnología de litografía por haz de electrones (EBL) Tecnología ZEPTOOLS

La litografía por haz de electrones (EBL) es una técnica litográfica de escritura directa sin máscara que funciona escribiendo directamente patrones a nanoescala en una superficie resistente sensible a los electrones utilizando un haz de electrones enfocado.