La litografía sin máscara es un equipo avanzado de litografía que no requiere una máscara física. Utiliza un dispositivo de microespejo digital (DMD) para generar dinámicamente patrones litográficos, lo que permite un procesamiento de estructura a microescala flexible y eficiente. Su función principal es utilizar la capacidad de modulación de luz espacial del DMD para proyectar directamente patrones diseñados por computadora sobre la superficie del sustrato. Esto elimina los engorrosos pasos de fabricación y alineación de máscaras en la litografía tradicional, acortando significativamente el ciclo de I + D y reduciendo los costos de producción.
