2025-08-07

ZEPTOOLS Tehnoloogia Populaarseteadus - Tutvustus elektronkiirguse litograafia (EBL) tehnoloogia

Elektronkiire litograafia (EBL) on masketa, otsekirjutuslik litograafiline tehnika, mis töötab otseselt kirjutades nanoskaalmustrid elektronitundlikule resisti pinnale, kasutades at fokuseeritud elektronkiir.