2025-08-06

Mis on elektronkiire litograafia masina tööpõhimõte?

Elektronkiire litograafia (EBL) on mikronano tootmisseade, mis põhineb elektronkiirgusel. Selle põhi põhimõte on joonistada nano-skalmustrid resisti (nt PMMA, HSQ) kasutatakse kõrge energiaga elektronkiirt. Lõpuks, muster viiakse alusmaterjali läbi protsesside nagu arendus ja fikseerimine.