Profiloometer on täpsusvahend, mida kasutatakse materjali pindade mikroskoopilise topograafia kõrge täpsusega mõõtmiseks (näiteks astme kõrgus) t, karedus, lamedus ja warp. Seda kasutatakse laialdaselt pooljuhtide tootmises, materjaliteaduste uuringutes, MEMS (Microelektromehaanilised süsteemid) töötlemises, ja optiline komponentide katsetamine. Selle põhifunktsioon on saada kvantitatiivseid andmeid pinnakõrguse muutuste kohta väikse kokkupuute kaudu sondi ja proovipinna vahel; põhiandmed materjalide tulemuslikkuse analüüsi ja protsessi optimeerimise kohta.
