2025-08-06

Zein da litografia elektronikoaren printzipioa?

Elektroniko izpi-lithografia (EBL) mikro-nano-gailu bat da. Haren printzipio nagusia nano-eskalaren ereduak marraztea da (PMMA, HSQ, adibidez) Indar handiko elektronikoen izpi bat erabiltzen. Azkenik, eredua substratu-materialera eramaten da garapena eta konpontzea bezalako prozesuen bidez.