Profilometroa materialen gainazaleen topografiko mikroskopikoa neurtzeko erabiltzen den zehaztasun tresna da t, zakarkeria, lausoa eta oihal. Hainbat erabiltzen da erdi-duktoreak fabrikatzean, material zientziaren ikerketa, MEMS (Microelectromechanical Systems) prozesatzean, eta osagai optiko probatzea. Bere funtzio oinarrizko datuak gorainaren altueraren aldaketak eskuratzea da, ikerketa eta laginaren gainazalearen arteko kontaktu minutuko bitartez. bere errendimendu materialaren analisia eta prozesuaren optimizazioaren gakoaren datuak eskaintzen.