اصل کارگر يک ماشين ليتوگرافي الکترونيکي چيه؟
لیتوگرافی الکترون (EBL) یک دستگاه ساختار میکرو نانو است که بر اساس اشکال الکترون است. اصل اصل اصل آن کشیدن الگوهای نانو مقیاس بر روی مقاومت (مثل PMMA, HSQ) با استفاده از يک اتومبيل الکترونيکي بالا. در نهایت، الگو به مواد زیردریایی از طریق فرایند هایی مانند توسعه و درست کردن منتقل می شود.>
بیشتر ببینید2025-08-06