2025-08-07

فن آوری ZEPTOOLS - معرفی به لیتوگرافی الکترون بیم (EBL)

لیتوگرافی الکترون (EBL) یک ماسک ناپذیر است. تکنیک لیتوگرافیک را مستقیم نوشت که با نوشتن مستقیما الگوهای نانویسی در یک سطح مقاومت حساس الکترون با استفاده از a برق الکترون متمرکز