لیتوگرافی بی ماسک چیه؟ چطور کار ميکنه؟

لیتوگرافی یک تجهیزات لیتوگرافی پیشرفته است که به ماسک فیزیکی نیاز ندارد. از یک دستگاه دیجیتال (DMD) برای تولید الگوهای لیتوگرافیکی استفاده می کند. فعال سازی ساختار میکرو مقیاس و انعطاف پذیری تابع اصلی آن استفاده از قابلیت مدولیت نور فضایی DMD برای پروژه مستقیم الگو های طراحی شده رایانه روی زیر استار سطحي اين مرحله ي سختي ساختن ماسک و ترازي در ليتوگرافي سنتي رو از بين ميبره به طور قابل توجهی کوتاه کردن چرخه R&D و کاهش هزینه تولید