2025-08-07

ZEPTOOLS Teknologia Suosittu tiede - Esittely elektronisäidille Litografiaan (EBL)

Elektronisisuihtolitografia (EBL) on masleton, litografinen tekniikka, joka toimii kirjoittamalla suoraan nano- mittakaava kuvioita elektronien herkälle resistipinnalle käyttäen, Kohdistettu elektronisäde.