Profilometri on tarkkuuslaite, jota käytetään materiaalipintojen mikroskooppisen pinnan (kuten askelkorkeuden) korkean tarkkuuden mittaamiseen t, karheus, litteys ja poimu. Sitä käytetään laajalti puolijohde valmistuksessa, materiaalitieteiden tutkimuksessa, MEMS (Microelectromechanical Systems) käsittelyssä, ja optisten komponenttien testaus. Sen ydintoiminto on saada kvantitatiiviset tiedot pinnan korkeuden muutoksista pienen kosketuksen kautta näytteenottimen ja näytteen pinnan välillä. tarjoamalla keskeisiä tietoja materiaalin suorituskyvyn analysointiin ja prosessin optimointiin.
