ZEPTOOLS-Scanning elektronmikroskooppi-Nano-siirtymävaiheen

Huoneen lämpötila Automaattinen tutkimusasema TZ-H-06.

SEM Nano-Probe asema

Piezo Tavoite NF100LA

Piezo Nano-poistovaihe ML-92A

DMD Masklesss litografiajärjestelmä

Ultraflat-sarja plasman tehostettu kemiallinen höyrylaskeumijärjestelmä (PECVD)