2025-08-07

Technologie ZEPTOOLS Science populaire-Introduction à la technologie de la lithographie par faisceau d'électrons (EBL)

La lithographie par faisceau d'électrons (EBL) est une technique de lithographie sans masque à écriture directe qui fonctionne en écrivant directement des motifs nanométriques sur une surface de réserve sensible aux électrons à l'aide d'un faisceau d'électrons focalisé.