Un profilomètre est un instrument de précision utilisé pour la mesure de haute précision de la topographie microscopique des surfaces des matériaux (comme la hauteur de marche, la rugosité, la planéité et la chaîne). Il est largement utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs, la recherche en sciences des matériaux, le traitement MEMS (systèmes microélectromécaniques) et les tests de composants optiques. Sa fonction principale est d'obtenir des données quantitatives sur les changements de hauteur de surface par un contact minutieux entre la sonde et la surface de l'échantillon, fournissant des données clés pour l'analyse des performances des matériaux et l'optimisation des processus.