Maskles lithografie is in avansearre lithografie- apparaat dy net in fisyske mask nedich. Dit brûkt in digitale micromirror- apparaat (DMD) om litografyske patroanen dynams oanmeitsje te krijen, It ynskeakelje fleksibel en effektivent micro- skearle strukturaasje. It kernfunksje brûkt de spaaslike ljochtmodulaasje- kabilikheid fan de DMD om direkt te projektjen fan kompjûter- berekkende patroanen op de substra. boppe. Dit wisket de negearjende staps fan masker en oarrings yn tradisionele litografie, betynlik ferkort fan de R&D- syklus en fersleine fan produksieskosten.
