2025-08-06

Cal é o principio traballador dunha máquina de litografía de raio electrón?

A litografía electrónica (EBL) é un dispositivo de fabricación de micronano baseado na exposición de raio electrón. O principio principal é debuxar os modelos de nano- escalas nunha resistencia (como PMMA, HSQ) empregando unha raia electróna alta enerxía. Por fin, o padrón é transferido ao material de substrado a través dos procesos como o desenvolvemento e a arranxar.