Un perfilometro é un instrumento de precisión empregado para a mesura alta preciso do topografía microscopica de superficies materiais (como o alto de paso) t, é a ruedade, e a ferra. Emprégase amplomente na fabricación semiconductor, a procura de ciencias de materiales, MEMS e probas de compoñentes óptico. A súa función principal é obter datos quantitativas sobre cambios de altura de superficie a través do contacto minuto entre a proba e a superficie de mostrar, fornece datos clave para a análise de rendimento material e a optimización do proceso.
