Esea de separación de microscopio electrón-Nano

Estación de proba automático TZ-H-6

Estación SEM Nano- Probe

Piezo

Estase de desplazamiento de traza longo Piezo Nano ML- 92A

Sistema de litografía de DDDD

Sistema de deposito de vapor químico mellorado de series ultraflat Plasma (PECVD)