Electron lithography (EBL) ningo peteĩ páhina de micro-nano de creación, ojejapovaʼerãha ipoguýpe. PMMA, HSQ) ipyʼapýpe ipyʼapýpe. Haʼekuéra oñemeʼẽ hag̃ua umi mbaʼe ojejapo hag̃ua.