ઇલેક્ટ્રોન બીમ લિથોગ્રાફી (ઇબીએલ) એ એક માસ્કલ છે, સીધી લખાણ લિથોગ્રાફિક તકનીક જે ઇલેક્ટ્રોન-સંવેદનશીલ પ્રતિકારની સપાટી પર સીધી નેનોસ્કેલ પેટર્ન લખીને કામ કરે છે કેન્દ્રિત ઇલેક્ટ્રોન બીમ.