2025-08-06

ઇલેક્ટ્રોન બીમ લિથોગ્રાફી મશીનનું કાર્યકારી સિદ્ધાંત શું છે?

ઇલેક્ટ્રોન બીમ લિથોગ્રાફી (EBL) એ ઇલેક્ટ્રોન બીમ એક્સપોઝર પર આધારિત માઇક્રો-નેનો ફેબ્રિકેશન ઉપકરણ છે. તેનો મુખ્ય સિદ્ધાંત એક ઉચ્ચ-ઉર્જાવાળી ઇલેક્ટ્રોન બીમનો ઉપયોગ કરીને રેઝિસ્ટ (જેમ કે PMMA, HSQ) પર નેનો-સ્કેલ પેટર્ન દોરવાનો છે. છેવટે, પેટર્ન વિકાસ અને ફિક્સિંગ જેવી પ્રક્રિયાઓ દ્વારા સબસ્ટ્રેટ સામગ્રીમાં સ્થાનાંતરિત કરવામાં આવે છે.