2025-08-07

Zeptools טכנולוגיה מדעית פופולרית-מבוא ליתוגרפיה של קרן אלקטרונים ליתוגרפיה

ליטוגרפיה של אלומת אלקטרונים (באנגלית: ebl) היא טכניקה ליתוגרפיה ליתוגרפית ללא מעסה, אשר עובדת על ידי כתיבה ישירה של תבניות ננוסקוייל על פני השטח הרגישים לאלקטרון, תוך שימוש בקרן אלקטרונים ממוקדת.