מהי ליטוגרפיה ללא מעסה? איך זה עובד?

ליטוגרפיה ללא מעסה היא ציוד ליתוגרפיה מתקדם שאינו דורש מסיכה פיזית. הוא משתמש במכשיר מיקרומררור דיגיטלי (dmd) כדי ליצור תבניות ליתוגרפיות דינמיות, המאפשר עיבוד מבנה גמיש ויעיל. פונקציית הליבה שלה היא ניצול יכולת אפנון האור המרחבית של ה-dmd כדי ליצור באופן ישיר תבניות מעוצבות על פני השטח של המצע. זה מבטל את השלבים הממוזלים של הכנת מסכה ויישור בליתוגרפיה המסורתית, מקצר משמעותית את מחזור ה-r & d והפחתת עלויות הייצור.