2025-08-06

एक इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी मशीन का कार्य सिद्धांत क्या है?

इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी (ईबीएल) एक माइक्रो-नैनो निर्माण उपकरण है जो इलेक्ट्रॉन बीम एक्सपोज़र पर आधारित है। इसका मुख्य सिद्धांत एक उच्च-ऊर्जा इलेक्ट्रॉन बीम का उपयोग करते हुए एक प्रतिरोध (जैसे pmma, hsq) पर नैनो-स्केल पैटर्न खींचना है। अंत में, पैटर्न को विकास और फिक्सिंग जैसी प्रक्रियाओं के माध्यम से सब्सट्रेट सामग्री में स्थानांतरित किया जाता है।