मस्कलेस लिथोग्राफी एक उन्नत लिथोग्राफी उपकरण है जिसे भौतिक मास्क की आवश्यकता नहीं होती है। यह लिथोग्राफिक पैटर्न को गतिशील रूप से उत्पन्न करने के लिए एक डिजिटल माइक्रोरोर डिवाइस (dmd) का उपयोग करता है, जो लचीला और कुशल सूक्ष्म-पैमाने संरचना प्रसंस्करण को सक्षम करता है। इसका मुख्य कार्य पूरी सतह पर कंप्यूटर-डिज़ाइन किए गए पैटर्न को सीधे कंप्यूटर-डिज़ाइन किए गए पैटर्न को प्रोजेक्ट करने के लिए Dmd की स्थानिक प्रकाश मॉड्यूलेशन क्षमता का उपयोग कर रहा है। यह पारंपरिक लिथोग्राफी में मास्क बनाने और संरेखण के बोझिल चरणों को समाप्त करता है, आर एंड डी चक्र को काफी कम करता है और उत्पादन लागत को कम करता है।
