2025-08-06

Što je radno načelo litografije elektronskog zraka?

Naprava za izradu elektronskog zraka (EBL) je mikronano uređaj za izradu na temelju izloženosti elektronskom snopu. Njihov temeljni princip je crtati nano-scale uzorke na otporu (kao što su PMMA, HSQ) koristeći visokoenergijski elektronski snop. Konačno, uzorak se prenosi u substrat materijal kroz procese poput razvoja i fiksiranja.