Bez maskles litografija je napredna litografska oprema koja ne zahtijeva fizičku masku. Koristi digitalni mikrozgleror uređaj (DMD) da dinamički generira litografske uzorke, omogućiti fleksibilno i učinkovito obradu strukture mikrorazmjera. Njegova jezgra funkcija je korištenje mogućnosti prostorne svjetlosti modulacije DMD za izravno projektiranje računalno dizajniranih obrazaca na supstranu Površina. To eliminira nezgodne korake proizvodnje maske i poravnanje u tradicionalnoj litografiji, znatno skraćivanje ciklusa istraživanja i razvoja i smanjenje troškova proizvodnje.
