2025-08-07

Zeptools technology popular science-bevezetés az elektronnyaláb litográfia (ebl) technológia

Az elektronnyaláb-litográfia (ebl) egy maszkos, közvetlen írású litográfiai technika, amely úgy működik, hogy közvetlenül a nanoméret mintákat egy elektronérzékeny ellenállás felületre írja egy fókuszált elektronnyaláb segítségével.