2025-08-06

Mi az elektronnyaláb litográfiai gép működési elve?

Az elektronnyaláb litográfia (ebl) egy mikronano-gyártási eszköz, amely az elektronnyaláb expozíción alapul. Alapelve a nano-skála mintákat rajzolni egy ellenálláson (például pmma, hsq) egy nagy energiájú elektronnyaláb segítségével. Végül, a minta át a szubsztrát anyag folyamatok, mint például a fejlesztés és rögzítés.