2025-08-06

Apa itu litografi tanpa masker? Bagaimana cara kerjanya?

Litografi tanpa Masker adalah peralatan litografi canggih yang tidak memerlukan masker fisik. Ia menggunakan perangkat micromirror digital (DMD) untuk menghasilkan pola litografi secara dinamis, memungkinkan pemrosesan struktur skala mikro yang fleksibel dan efisien. Fungsi intinya memanfaatkan kemampuan modulasi cahaya spasial DMD untuk secara langsung proyeksikan pola yang dirancang komputer ke permukaan substrat. Hal ini menghilangkan kerumitan dari langkah-langkah pembuatan masker dan penjajaran dalam litografi tradisional, mempersingkat siklus R & D secara signifikan serta mengurangi biaya produksi.